HORIBA堀場制作所 非接觸式化學藥液濃度計CS-900

HORIBA堀場制作所 非接觸式化學藥液濃度計CS-900

HORIBA堀場制作所 非接觸式化學藥液濃度計CS-900

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下一代濕法制程。HORIBA 提供提升產能的化學藥液濃度管理設備，以幫助改進制程。

為達到半導體濕法制程中所需的嚴格化學藥液濃度控制，HORIBA 通過設計緊湊設備，以及通過其原有傳感器設計保持穩定測量和確保操作人員**，實現更強大功能以滿足需求。

概要

全部無接觸，高度穩定

從外部將傳感器直接連接到 PFA 管路，實現零污染。這消除了在安裝傳感器時進行管路施工的要求，從而減少化學事故。此外，通過升級光學系統，設備變得更加緊湊，同時保留 CS-600F*1 的原始規格。

高質量、穩定測量

• 零污染

• 配備溫度補償功能，實現穩定測量

• 配備 HORIBA 原始算法，補償氣泡影響

• 重復性和穩定性與常規的 CS-600*1 相同

抑制振動效應

• HORIBA 采用抗錯位強的光學系統結構，與 HORIBA 的原始管路結構協同配合。

節省空間

• 光源和光學傳感器已集成至樣品單元。

• 平板顯示器（9.6cm x 9.6cm）

光源壽命更長

• 使用 LED 燈，延長使用壽命（5 年質保期）

提高工作**性

• 每半年一次的背景校正補償周期

• 安裝產品時無需安裝管路，有助于減少化學藥液泄漏等事故。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纖型化學藥液濃度計。

不使用光纖的光學設計和主機，加上傳感器的縮小提升了安裝的自由度

對于寬溫度范圍（20℃ 至 80℃）的化學藥液，可進行直接、穩定的測量