HORIBA堀場制作所 四極質分析器QL-SG02-300-1A

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MICROPOLE系統是*小的質譜儀系統之一，易于安裝。該系統被證明是許多腔室表征應用的理想解決方案。緊湊的尺寸是由**設計的微型陣列的四極質量過濾器。該系統能夠在比傳統系統高得多的壓力下工作，因此減少了對額外差壓泵設備的需求。

概要

非常緊湊的尺寸和重量輕

與傳統殘余氣體分析儀相比，尺寸為1/20，易于集成到任何系統

高性能

由9個四極桿組成的迷你陣列在傳統四極桿體積的一小部分上提供了出色的靈敏度

高壓操作

可在高達0.9Pa （7mTorr, 9 x 10-3mbar）的壓力下使用，從而減少或消除了許多應用中昂貴的真空泵

可互換的傳感器頭校準

傳感器頭在發貨前進行預調諧和校準，允許用戶在現場進行傳感器更改，而無需微調或技術專業知識

網絡傳感器

使用RS-485，一臺PC可以監控多達8個傳感器。通過外部I/O進行無pc掃描操作也是可能的。

用戶友好的軟件

Micropole Scanner?2軟件允許用戶在各種模式下監測氣體的分壓，例如趨勢圖，頻譜圖，條形圖。