HORIBA堀場制作所 腔室清洗氣體監測儀IR-422

HORIBA堀場制作所 腔室清洗氣體監測儀IR-422

HORIBA堀場制作所 腔室清洗氣體監測儀IR-422

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IR-400 可在沉積過程中實時監測腔室清洗終點。通過優化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統部件的壽命。

概要

多氣體監測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)

• 高靈敏度

• 氣室加熱功能*高可達 180℃

• 多重顯示

• 模擬/數字通信

IR-400 實時終點監測的優勢

• 減少腔室清洗時間

• 減少清洗氣體使用量

• 可重復和可預測的清洗過程

• 延長腔室組件壽命

應用示例 

• 監控室排氣管線

測量技術

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測量紅外光源發出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進行對比，并將結果轉換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期穩定的測量結果。

光學系統由光源、氣室和雙光束檢測器組成。雙光束檢測器的穩定性已得到 40 多年的驗證。

配置