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容器組件

HORIBA堀場 腔室清洗監(jiān)測的氣體監(jiān)測儀

  • 產品名稱:HORIBA堀場 腔室清洗監(jiān)測的氣體監(jiān)測儀
  • 產品型號:IR-200
  • 產品廠商:HORIBA堀場制作所
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 腔室清洗監(jiān)測的氣體監(jiān)測儀IR-200

HORIBA堀場 腔室清洗監(jiān)測的氣體監(jiān)測儀

的詳細介紹

HORIBA堀場制作所 腔室清洗監(jiān)測的氣體監(jiān)測儀IR-200

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HORIBA堀場制作所 腔室清洗監(jiān)測的氣體監(jiān)測儀IR-200

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IR-200 實時監(jiān)測四氟化硅(SiF4)氣體濃度,并根據 SiF4 氣體濃度確定清洗終點。

概要

  • 監(jiān)測高達 5000 ppm 的 SiF4 濃度

  • 緊湊設計

  • 可安裝至排氣管路

  • 除 SiF4 外,該氣體監(jiān)測儀還可用于測量 CIF3 和其他氣體。

配置


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