容器組件
HORIBA堀場 微流量壓力質量流量計
- 產品名稱：HORIBA堀場 微流量壓力質量流量計
- 產品型號：D717uF
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
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簡單介紹
HORIBA堀場 微流量壓力質量流量計D717uF
HORIBA堀場 微流量壓力質量流量計
的詳細介紹HORIBA堀場 微流量壓力質量流量計D717uF
HORIBA堀場 微流量壓力質量流量計D717uF
HORIBA堀場 微流量壓力質量流量計D717uF
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D700uF（Micro Flow）專為≤5SCCM流量應用而設計。
在高縱橫比工藝中，≤5SCCM的流量控制是非常關鍵的。
專門的組件和新開發的內部低流量標準允許高精度流量控制低至0.025SCCM。
概要
低至0.025SCCM流量控制能力
精密調氣控制，提高工藝可調性
≤100ms升壓響應和mfc到mfc偏差控制
提供高生產率和更高的過程性能
內部流量計量
所有制造產品的可靠性能
狀態監控功能
為更智能的故障預測提供更多內部數據
PFA噴嘴具有更好的閥門關閉性和耐腐蝕性
具有較小顆粒風險的魯棒性，可減少停機時間并優化產量
