容器組件
HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器
- 產品名稱：HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器
- 產品型號：EC-5202
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器EC-5202
HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器EC-5202
HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器EC-5202
HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器EC-5202
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EC-5000 系列排氣壓力控制器可將處理室的壓力值維持在客戶設定的范圍。高分辨率步進電機和蝶閥設計確保對任何壓力變化做出快速、靈敏的響應。
概要
優點:
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適用于高真空環境：不銹鋼機身
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抗腐蝕：PTFE 機身可選
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RoHS 標準
當排氣流量被調整到適合水平：
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抗蝕劑以薄膜形式均勻分布
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防止煙霧的二次沉積
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防止危險蒸氣擴散
與流量傳感器控制相比，由抗蝕劑和其他污染物累積引起的靈敏度變化較小，同時消除了湍流和其他噪聲的影響，確保控制精準、穩定、迅速。
