容器組件
HORIBA 多量程/多氣體數字流量控制器
- 產品名稱：HORIBA 多量程/多氣體數字流量控制器
- 產品型號：SEC-Z500X
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 多量程/多氣體數字質量流量控制器SEC-Z500X
HORIBA 多量程/多氣體數字流量控制器
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 多量程/多氣體數字質量流量控制器SEC-Z500X
HORIBA堀場制作所 多量程/多氣體數字質量流量控制器SEC-Z500X
HORIBA堀場制作所 多量程/多氣體數字質量流量控制器SEC-Z500X
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這是 HORIBA *暢銷的數字式質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現場更改氣體類型或滿量程流量。
該質量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 設定點）、壓電閥、高速響應和全金屬特性，可提高制程良率，簡化零件管理。支持數字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT® 通信模式。
概要
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高精度 ±1.0% 設定點
該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現在所有流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數據由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統測量。 -
高速響應
裝配“可變 PID 系統”，可在任意兩個設定點之間實現 1 秒響應。可變 PID 根據流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發生變化時優化 PID 系數。 -
多氣體/多量程解決方案
配置軟件可以快速方便地更改規格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質量流量控制器，即可進行更改。減少了所需的備用質量流量控制器的數量，節省時間和成本。
SEC-Z500X 質量流量控制器適用于各種應用以及半導體制造。閱讀我們的案例分析，了解 SEC-Z500X