容器組件
HORIBA堀場制作所 全自動薄膜量測系統
- 產品名稱：HORIBA堀場制作所 全自動薄膜量測系統
- 產品型號：Xtrology
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 全自動薄膜量測系統 Xtrology
HORIBA堀場制作所 全自動薄膜量測系統
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 全自動薄膜量測系統Xtrology
HORIBA堀場制作所 全自動薄膜量測系統Xtrology
HORIBA堀場制作所 全自動薄膜量測系統Xtrology
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結合多種傳感器和自動化技術，為半導體晶圓量測提供更高的價值。
新產品 "Xtrology," 全自動薄膜量測系統*1 的發布使得僅用一臺設備就能對各種晶圓進行薄膜厚度測量、缺陷分析和成分分析等重要量測成為可能。
近些年來，隨著半導體工業中的技術發展，生產過程中的檢測項目不斷增多，同時量測要求也持續提高。
針對硅和化合物半導體器件的傳統和先進工藝， Xtrology能夠對各種尺寸晶圓和材料進行量測和缺陷檢測。我們將基于HORIBA 核心技術獨立開發的各種傳感器和自動化技術集成到一個平臺上，從而提供多種解決方案。
1. 根據客戶量測需求定制傳感器與規格
"Xtrology,"是一款高度可定制性的系統，可以在三種分析方法中自由選擇一種或多種傳感器: 橢圓偏振光譜*2, 拉曼光譜*3, 和光致發光光譜*4。T這樣僅在一臺設備中便能實現對不同的晶圓的重要檢測。
