IWAKI 易威奇氣動波紋管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇氣動波紋管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇氣動波紋管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇氣動波紋管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇氣動波紋管泵（FA-40VEW）

氣動波紋管泵 FA系列 用于晶圓清潔，氣動波紋管泵。 我們采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型對FA - 2型水平流型進行了標準化。 FA-2型適用于噴涂單晶圓加工，FA-40VEW型適用于清洗200/300 mm晶圓。

特點

1.我們采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型對FA - 2型水平流型進行了標準化。 FA-2型適用于噴涂單晶圓加工，FA-40VEW型適用于清洗200/300 mm晶圓。

2.FA - 40VEW型采用厚波紋管。 它是一種長壽命設計，具有出色的耐壓性，可承受長期連續運行。

3.氟樹脂用于所有潤濕部件。 它是一種無污染的設計，不使用橡膠或金屬，例如在泵的外圓周上涂覆氟樹脂涂層。 此外，由于FF-H系列的主體和波紋管是完全焊接的，因此熱循環不會有液體泄漏。

4.通過連接到專用控制器，可以輕松控制和管理排放量。

型 號	FA-2E-1	FA-40VEW
*大排放量 L/min	2	40
供氣壓力范圍 MPa	0.2～0.4	0.1～0.4
液體溫度范圍 ℃	5～100
*大耗氣量 NL/min	50	200
泵沖程數 spm	Max.150	Max.80
泵連接端口直徑	Rc1/8	Rc1
空氣連接口直徑	Rc1/4	Rc3/8
環境溫度℃	0～40
驅動方式	接近開關方法