容器組件

IWAKI 易威奇FS-H系列氣動波紋管泵

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簡單介紹

IWAKI 易威奇FS-H系列氣動波紋管泵 IWAKI 易威奇FS-H系列氣動波紋管泵 IWAKI 易威奇FS-H系列氣動波紋管泵

的詳細介紹

FS-H系列氣動波紋管泵 IWAKI 易威奇

通過加速泵的速度實現小型、輕減、低成本化

高速行程：通過*大化泵沖程（*大240 spm），我們實現了小尺寸，重量輕，低成本和減少脈動。

無污染：氟樹脂用于所有潤濕部件。它的設計沒有金屬暴露，如在泵的外圓周上涂覆氟樹脂涂層。

此外，采用我們專有的軸封（PAT。）進一步減少了顆粒的出現。

液體溫度范圍廣·高壓放電：由于液體溫度范圍為5至180℃，并且排出壓力可以達到*大0.45MPa，

因此它不僅可以用于清潔工藝和CMP工藝，而且可以用于復合工藝。

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